Liczniki cząstek MET ONE i HIAC są specjalnie zaprojektowane, aby zaspokoić potrzeby użytkowników z branży elektronicznej. Zarówno przy monitorowaniu cząstek w powietrzu w pomieszczeniach czystych zgodnie z ISO 14644 i ISO 21501, jak i przy wodnym czyszczeniu części, czy monitoringu wody ultraczystej, liczniki cząstek MET ONE i HIAC zapewniają wysoką wydajność w produkcji półprzewodników, płaskich wyświetlaczy czy dysków HDD.
Zastosowania
- Monitoring środowiskowy w pomieszczeniach czystych,
- Klasyfikacja i walidacja pomieszczeń czystych i środowisk kontrolowanych,
- Wodne czyszczenie części,
- Monitoring cząstek w wodzie dejonizowanej (DI),
- Monitoring cząstek w wodzie ultraczystej przy produkcji płaskich wyświetlaczy.
Liczniki cząstek w cieczach HIAC
Liczniki cząstek w cieczach:
Wodne czyszczenie części
HIAC 9703+ licznik cząstek w cieczach
HIAC HRLD sensory cząstek w cieczach
HIAC MC05 sensor do zliczania cząstek submikronowych w cieczach
Liczniki cząstek w powietrzu MET ONE
Liczniki cząstek w powietrzu:
Monitoring środowiskowy w pomieszczeniach czystych
MET ONE 3400 przenośny licznik cząstek w powietrzu
MET ONE 3411 przenośny licznik cząstek w powietrzu
MET ONE system monitorowania FMS
MET ONE 6000 zdalny licznik cząstek w powietrzu
MET ONE 6000P zdalny licznik cząstek w powietrzu
Klasyfikacja i walidacja pomieszczeń czystych i środowisk kontrolowanych zgodnie z ISO 14644
MET ONE 3400 przenośny licznik cząstek w powietrzu
MET ONE 3411 przenośny licznik cząstek w powietrzu
MET ONE system monitorowania FMS
MET ONE 6000 zdalny licznik cząstek w powietrzu
MET ONE 6000P zdalny licznik cząstek w powietrzu
Standardy
- International Organization for Standards (ISO)
- ISO 14644 Cleanrooms and associated controlled environments
- ISO 21501-4 Determination of particle size distribution - Light scattering airborne particle counters for clean spaces
- The Institute of Environmental Sciences and Technology (IEST)
- Association Connecting Electronics Industries (IPC)
- British Standards Institution (BSI)
- Electronic Industries Alliance (EIA)
- Global Semiconductor Alliance
- International Society of Automation (ISA)
- Korea Semiconductor Industry Association (KSIA)
- Taiwan Semiconductor Industry Association (TSIA)
- Semiconductor Industry Association (SIA)
- Semiconductor Equipment Association of Japan (SEAJ)
Często zadawane pytania
Jaka jest zalecana częstotliwość kalibracji liczników cząstek w powietrzu?
Norma ISO 14644-1 określa częstotliwość kalibracji instrumentów do liczenia cząstek w powietrzu stosowanych we wszystkich pomieszczeniach czystych. Aby zagwarantować prawidłowość i dokładność zliczania cząstek, zaleca się kalibrację co 6 miesięcy.
Gdzie w zakładzie należy zlokalizować liczniki cząstek w powietrzu, aby zapewnić skuteczne monitorowanie?
Norma ISO 14644-1 nie formułuje wymagań dotyczących lokalizacji liczników cząstek, ale zaleca się monitoring jak najbliżej najważniejszych procesów oraz pobieranie próbek w obszarach o dużym natężeniu przepływu. Czyli tylko w tych obszarach, w których produkt jest przetwarzany, a warunki środowiskowe mogą mieć wpływ na jego jakość.
Czy lepkość i kolor cieczy wpływają na zliczenia cząstek?
Lepkość jest ważna tylko wtedy, gdy wpływa na utrzymanie właściwego natężenia przepływu. Liczniki cząstek w cieczach HIAC zostały zaprojektowane tak, aby zapewniać dokładne pomiary i niezawodność przy szerokiej gamie lepkości i zoptymalizowanej kontroli przepływu. Kolor cieczy może wpływać na zliczanie, jeśli ciecz absorbuje długość fali światła laserowego stosowanego w licznikach cząstek.
Jaka jest odpowiednia wysokość w przebieralniach w pomieszczeniach czystych do monitorowania powietrza za pomocą licznika cząstek?
Sondy do pobierania próbek powinny znajdować się na wysokości 1,5 m +/- 10% od podłogi.